衡量半導體工藝發(fā)展水平的一個關鍵指標，就是看它的量產芯片的產能。其中缺陷密度就與產能息息相關，任何半導體制造工藝的目標都是隨著時間的推移將缺陷率降至最低，從而為客戶的訂單提供更充足的產能。
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