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● 前段Array制程:薄膜/黃光/蝕刻/剝膜(二)

    我們以一個像素單位為例，如上圖，這個像素中，淺色部分未曝光，而深色的是曝光部分。

    接著，用顯影劑將曝光部分的光刻膠清洗掉，這樣就只剩下未曝光的光刻膠部分，然后用去離子水將溶解的光刻膠沖走。

顯影之后需要加熱烘烤，讓未曝光的光刻膠更加堅固的依附在ITO玻璃上

    然后用適當?shù)乃峥桃簩o光刻膠覆蓋的ITO膜的蝕刻掉，只保留光刻膠下方的ITO膜。ITO玻璃為（In2O3 與SnO2）的導電玻璃，未被光刻膠覆蓋的ITO膜易與酸發(fā)生反應，而被光刻膠覆蓋的ITO膜可以保留下來，得到相應的拉線電極。